B-implantation and Annealing for SiGe Epilayers

来源 :Semiconductor Photonics and Technology | 被引量 : 0次 | 上传用户：longweii

【摘要】

：

Ｂ－ｉｍｐｌａｎｔａｔｉｏｎａｎｄＡｎｎｅａｌｉｎｇｆｏｒＳｉＧｅＥｐｉｌａｙｅｒｓ①②ＪＩＡＮＧＲＬ，ＬＩＵＷＰ，ＪＩＡＮＧＮ，ＺＨＵＳＭ，ＨＵＬＨ，ＺＨＥＮＧＹＤ（Ｄｅｐｔ．ｏｆＰｈｙｓｉｃｓ，ＮａｎｊｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，Ｎａｎｊｉｎｇ２... B-implantation and AnnealingforSiGeEpilayers①②RL, LIUWP, JIANGN, ZHUSM, HULH, ZHENGYD (Dept. of Physics, NanjingUniversity, N

【出处】

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Semiconductor Photonics and Technology

【发表日期】

：

1997年04期

【关键词】

：

Annealing implantation SiGe

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