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【摘 要】
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我们通过切换耦合电极的方法制备了μc-si:H/a-Si:H多层膜.这种多层膜的电导率呈各向异性,暗电导温度关系曲线可近似地看成由两条直线组成.随着 μc-Si:H亚层厚度的减小,喇曼
【机 构】
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四川大学材料科学系,四川大学材料科学系,四川大学材料科学系,四川大学材料科学系,四川大学材料科学系,四川大学材料科学系,四川大学材料科学系 成都610064,成都610064,成都610064,成都6
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1992年01期
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