【摘 要】
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在以前的一系列文章中探讨了激光技术辅助半导体制造的许多方面，如光刻、计量、晶片测试和检查，以及电路修复．由于半导体工业进一步向小型化方向发展，因而半导体加工中仍将继续采
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在以前的一系列文章中探讨了激光技术辅助半导体制造的许多方面，如光刻、计量、晶片测试和检查，以及电路修复．由于半导体工业进一步向小型化方向发展，因而半导体加工中仍将继续采用激光装置来制作许多商品中的集成电路（IC）．采用传统方式的加工技术，如打孔、焊接和切割?
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