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采用化学气相沉积法在平面硅基体上制备碳纳米管薄膜，并通过扫描电子显微镜、透射电子显微镜和接触角测量仪对样品进行形貌结构和浸润性质的表征。结果表明：碳纳米管的定向性主要由基体上催化剂粒子的分布控制，并遵循顶部生长生长机制；2种碳纳米管薄膜都具有较大的接触角，获得的定向碳纳米管表面具有微纳米复合结构是产生超疏水的主要原因。