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ZrO/W肖特基式场发射阴极具有高亮度、高稳定、长寿命等显著优势,广泛应用于电子束光刻、电子显微镜领域。本文从基本原理出发,系统分析了其主要特点,并对其使用中的注意事项进行了介绍,讨论了其热稳定性和环境适应性。
场发射ZrO/W肖特基式场发射阴极研究进展
【摘 要】
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ZrO/W肖特基式场发射阴极具有高亮度、高稳定、长寿命等显著优势,广泛应用于电子束光刻、电子显微镜领域。本文从基本原理出发,系统分析了其主要特点,并对其使用中的注意事项
【机 构】
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中国电子科技集团公司第三十八研究所
【出 处】
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电子制作
【发表日期】
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2018年12期
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