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考察了源于基体镝的多原子离子成,研究了基体对待测稀土杂质信号的影响,采用TI内标能基本上补偿基体影响,建立了直接测定高纯氧化镝中痕量稀土杂质的电感耦合等离子体-质谱法,检测限为0.013~0.088μg/L,平均回收率为92.3%~101.4%相对标准偏差为2.7%~9.2%,方法简便,快速,灵敏。