化学气相沉积钨显微组织缺陷的形成与控制

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钨属于难熔金属,由于具有高熔点、高密度、高强度、高硬度以及优异的导电性能、良好的导热性和比较稳定的化学性能等特性,钨及其合金已成为现代工业、国防及高新技术中极为重要的功能材料之一,广泛应用于航空航天、原子能、核电、船舶、兵器、汽车、电气、电子、化学、冶金、机械等诸多领域。钨及其合金因具有熔点高、性质硬而脆的特性,故对于复杂形状、薄壁、尺寸极大或极小的产品,难以用传统方法进行加工成形。探索这类制品的制备工艺,一直是钨成形技术领域中的重要研究方向。
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