【摘 要】
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随着传感器技术的发展和测量方法的改进，各种精密测量仪器的性能得到了很大的提高，但是振动干扰很大程度上限制了精密仪器的性能发挥，尤其在各类高分辨率测量场合和超精密加工制
【机 构】
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哈尔滨量具刃具集团有限责任公司量仪研究所
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随着传感器技术的发展和测量方法的改进，各种精密测量仪器的性能得到了很大的提高，但是振动干扰很大程度上限制了精密仪器的性能发挥，尤其在各类高分辨率测量场合和超精密加工制造过程更是如此。本文设计了以空气弹簧为主要元件的隔振平台，并对隔振平台的性能进行了测试，实验证明该隔振平台可以有效地隔离和减小外界振动的影响，满足精密测量的性能要求。
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