【摘 要】
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研究了一种新型非色散红外的CO2气体传感器，其中该气体传感器的检测腔体采用中红外空心光纤。论文中所用到的中红外光纤在CO2的吸收峰4.26μm处具有低损耗的特点，降低了红外光
【机 构】
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复旦大学微电子学,复旦大学通讯科学与工程系,复旦大学微电子学系
【基金项目】
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国家自然科学基金;中国高校博士点基金
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研究了一种新型非色散红外的CO2气体传感器，其中该气体传感器的检测腔体采用中红外空心光纤。论文中所用到的中红外光纤在CO2的吸收峰4.26μm处具有低损耗的特点，降低了红外光在此波段的损耗，提高了系统的灵敏度和选择性。实验结果表明，新型的非色散的CO2气体传感器系统对5ppmCO2气体具有8.33mv电压幅值响应，优于传统的不锈钢金属检测腔体；空心光纤的气体传感器的响应时间低于10s；该传感器的灵敏度为1.82mV/ppm。
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