多元微颗粒样品的X射线定量分析计算方法

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具有不同形状、多元组份的微颗粒样品(尺寸在μm或小于μm)x射线定量分析是电子显微学领域一个十分重要又极为困难的问题。作者在一系列工作的基础上,首次建立了微颗粒样品χ射线定量分析计算方法及MonteCarlo程序软件系统,已成功地应用于不同形状、组份的微颗粒样品定量分析中。本方法要点如下。 Microparticle samples with different shapes and multivariate compositions (μm or less in size) Quantitative x-ray analysis is a very important and extremely difficult issue in the field of electron microscopy. On the basis of a series of work, the author established the quantitative analysis method of χ-ray and the MonteCarlo program software system for the first time. It has been successfully applied to the quantitative analysis of micro-particle samples with different shapes and components. The main points of this method are as follows.
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