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目本松下技术研究所用准分子激光CVD工艺技术实现软X射线聚光用高反射率多层膜反射镜，这种反射镜是在硅基板上由钨(W)和硅(Si)交互沉积的多层膜(W／Si)构成椭圆柱面反射镜(尺寸：55×55mm^2，短半径60mm)，(图1)。多层膜的各层，在基板纵剖面内的膜厚是不同的。
软X射线高反射率多层膜反射镜
【摘 要】
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目本松下技术研究所用准分子激光CVD工艺技术实现软X射线聚光用高反射率多层膜反射镜，这种反射镜是在硅基板上由钨(W)和硅(Si)交互沉积的多层膜(W／Si)构成椭圆柱面反射镜(尺寸：5
【出 处】
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光机电信息
【发表日期】
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1995年6期
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