【摘 要】
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在多晶硅的合成过程中会有四氯化硅副产物产生，而四氯化硅不仅对生态环境有危害，还会在一定程度下损坏人体健康。因此，必须科学有效的利用四氯化硅，而使用气相法和沉淀法水解四氯
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在多晶硅的合成过程中会有四氯化硅副产物产生，而四氯化硅不仅对生态环境有危害，还会在一定程度下损坏人体健康。因此，必须科学有效的利用四氯化硅，而使用气相法和沉淀法水解四氯化硅可得到用途广泛的二氧化硅。本文介绍了生产粉体二氧化硅的两种制备工艺——化学沉淀法和气相法，通过比较两类方法的优劣之处，为纳米二氧化硅粉体制备进一步量产化提供了方向和目标。
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