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良好的切割方法对半导体材料的品质有非常关键的作用。多线切割技术是目前世界上最先进的切片加工技术,工作效率高,一次加工可以切割多片,并且可以达到一定的薄度。针对此,主要介绍了金刚石多线切割设备的结构,工艺流程和关键技术。
金刚石多线切割在半导体行业中的应用
【摘 要】
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良好的切割方法对半导体材料的品质有非常关键的作用。多线切割技术是目前世界上最先进的切片加工技术,工作效率高,一次加工可以切割多片,并且可以达到一定的薄度。针对此,主
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二研究所
【出 处】
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山西电子技术
【发表日期】
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2013年03期
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