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采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si衬底上制备了PbCoy(Zrx,Ti1-x)O3(PCZT)与PbCoyNbx(ZrxTi1-x)O3PCNZT)铁电薄膜,实验发现钴掺杂PZT比例为12mol%时,PCZT薄膜具有优良的铁电性和介电性,但是漏电流较大.为了能够很好地弥补PCZT薄膜漏电流太大的缺点,在12mol%Co掺杂的PCZT薄膜中掺入不同比例的Nb(在1mol%~10mol%掺杂范围内),实验结果表明,Nb掺杂比例越大,PCNZT薄膜的漏电流越小,但同时Nb掺杂减小了PCZT薄膜的剩余极化强度和