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用定量电子晶体学方法分别测定了β′-FeAl和β′-NiAl的8个低指数结构因子值,以此为基础再加上理论计算的高指数结构因子值进行数理转换得到了β′-FeAl、β′-NiAl的电荷密度分布,并绘制出β′-FeAl、β′-NiAl的(110)面电荷密度分布图。根据电荷密度分布图和成键理论,对β′-FeAl、β′-NiAl中的键结合情况进行了分析。对电荷密度分布及键结合情况与位错结构、形变行为进行了研究,从电荷密度分布层次解释了β′-FeAl、β′-NiAl的形变和位错的一些特性。