论文部分内容阅读
概述了永磁材料在微机电系统（MEMS）中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积（PLD）和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状,并对未来的发展方向提出了一些观点。
MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
【摘 要】
：
概述了永磁材料在微机电系统（MEMS）中集成制造方法的研究进展,总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积（PLD）和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研
【机 构】
：
上海交通大学微纳科学技术研究院微米／纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,安徽大学物理与材料科学学院
【出 处】
：
传感器与微系统
【发表日期】
：
2011年5期
【基金项目】
：
高等学校科技创新工程重大计划资助项目（708037）, 国家自然科学基金资助项目（51007001）, 国家重点实验室基金资助项目（9140C7903011007）
其他文献
设计了一种基于吉时利2750数字多用表的空间制冷机寿命试验的数据采集系统和一种基于恒流源的Pt100电阻测量电路,能有效地消除引线电阻产生的测量误差,提高了测量精度;采用VC++6.0编程语言为软件开发工具,通过计算机串口连接2750,实现试验数据的采集、保存和数据处理等功能,然后利用MSChart控件对测量数据进行处理,得到数据动态变化实时曲线图,长期试验结果表明,该系统运行稳定可靠、测量准确、
针对传统的接触式测量方法效率低,测量结果抽象、不准确,不能通过图像的方式形象表达等不足,研制了一种低成本、高效率、快速获取三维人体数据的非接触式测量系统;该系统是根据投影栅相位法基本原理,采用具有一定特性的结构光进行照射,通过分析相位值获得被测物体的高度信息;文章从理论和实践两方面进行了深入研究,研制了由计算机、投影仪、摄像头、图像采集卡、工作台等组成的三维人体测量系统,有效地提高了人体的测量精度
研究了全电刹车系统的整体组成结构、控制方案和系统硬软件设计等问题；在详细分析飞机刹车系统的工作原理和交流伺服技术的基础上，采用稀土永磁无刷方波直流电动机作为驱动部件
汽车电子系统在线故障诊断的算法执行效率、动态跟踪速度和稳态估计精度是检测突变故障参数的关键指标。针对基于参数估计故障诊断中常用的递推最小二乘RLS算法存在的典型问
无模型自适应控制（Model-Free Adaptive Control，MFAC）作为一种不依赖于系统数学模型、简单、有效具有广泛适用性的先进控制方法，已经在很多的复杂过程中得以应用。取得了良好的