【摘 要】
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激光点火是把激光作为一种“精密”点火源,利用激光的高能量特性,通过传输介质起爆或点燃火工品的技术。本文针对激光点火系统的应用需求,对一种1×2 MEMS光开关的结构、驱动
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激光点火是把激光作为一种“精密”点火源,利用激光的高能量特性,通过传输介质起爆或点燃火工品的技术。本文针对激光点火系统的应用需求,对一种1×2 MEMS光开关的结构、驱动方式以及微加工工艺进行了研究。经测试,光开关的综合性能满足激光点火系统低插入损耗、短响应时间和高隔离度的要求。
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