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2种不同工艺制备的“气敏-光学”敏感膜
2种不同工艺制备的“气敏-光学”敏感膜
来源 :郑州轻工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:crazymouse
【摘 要】
:
2种不同工艺制备的“气敏-光学”敏感膜姚纲照,翁文华,周佐平(华南理工大学应用物理系广州510641)关键词薄膜;氧化锡;气敏膜;光学膜中图分类号TP212.2近年来,发现了SnO2半导体薄膜的“气敏-光学”特性,即薄
【作 者】
:
姚纲照
翁文华
周佐平
【机 构】
:
华南理工大学应用物理系
【出 处】
:
郑州轻工业学院学报
【发表日期】
:
1994年S1期
【关键词】
:
薄膜
氧化锡
气敏膜
光学膜
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2种不同工艺制备的“气敏-光学”敏感膜姚纲照,翁文华,周佐平(华南理工大学应用物理系广州510641)关键词薄膜;氧化锡;气敏膜;光学膜中图分类号TP212.2近年来,发现了SnO2半导体薄膜的“气敏-光学”特性,即薄膜的光透过率随其周围的气体种类及...
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