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用注入Ｇａ离子ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子阱在快速热退火中大大加快了异质结界面的互扩散，表现在ＰＬ光谱中量子际峰值能量有３０～９０ｍｅＶ的兰移，发现兰移大小同注入损作程度，退火的温度及时间有关，并得到快速退火中的互扩散系数Ｄ约为１０＾－１５～１０＾－１７ｃｍ＾２／ｓ。
注入Ga离子的GaAs／AlGaAs量子阱中界面混合的光荧光研究
【摘 要】
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用注入Ｇａ离子ＧａＡｓ／ＡｌＧａＡｓ量子阱在快速热退火中大大加快了异质结界面的互扩散，表现在ＰＬ光谱中量子际峰值能量有３０～９０ｍｅＶ的兰移，发现兰移大小同注入损作程度，退火的温度及时间有关，并得到快速退火中的互扩
【机 构】
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中国科学院半导体研究所超晶格国家重点实验室
【出 处】
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红外与毫米波学报
【发表日期】
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1996年6期
【基金项目】
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国家自然科学基金
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