质谱仪器及其应用(十一)

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第十一章真空技术(续) 11—4 材料与元件除上述抽气机与真空计外,组成真空系统时还需要管道、阀门等连接元件。常见的真空系统分为玻璃式和金属式两大类。多数质谱仪器的真空系统采用金属式,抽气量不大,真空度要求较高;为了减少本底,达到较高真空度,往往对系统采取加热去气的 CHAPTER 11 VACUUM TECHNOLOGIES (CONTINUED) 11-4 MATERIALS AND COMPONENTS In addition to the above air extractors and vacuum gauges, connecting elements such as pipes, valves, etc. are also required to form the vacuum system. Common vacuum system is divided into glass and metal two categories. Most of the mass spectrometer vacuum system using metal, pumping capacity is not large, high vacuum requirements; in order to reduce the background to achieve a higher degree of vacuum, the system is often heated to the gas
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