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介绍了用溶胶-凝胶法（sol-gel）在Pt／Ti／SiO2／Si衬底和石英衬底上制备Ba（Zr0.3Ti0.7）O3铁电薄膜的基本原理、工艺过程及工艺特点；Sol-gel制备的Ba（Zr0.3Ti0.7）O3铁电薄膜表面平整、厚度均匀．
Ba（Zr0.3Ti0.7）O3铁电薄膜的制备
【摘 要】
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介绍了用溶胶-凝胶法（sol-gel）在Pt／Ti／SiO2／Si衬底和石英衬底上制备Ba（Zr0.3Ti0.7）O3铁电薄膜的基本原理、工艺过程及工艺特点；Sol-gel制备的Ba（Zr0.3Ti0.7）O3铁电薄膜表面平整、厚度
【机 构】
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新疆大学物理系,同济大学功能材料研究所
【出 处】
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新疆大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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2006年2期
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