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通过溶胶-凝胶法合成了纳米ZnO粉体，并对所制得ZnO粉体在不同温度下进行了热处理，应用X射线衍射（XRD）对热处理后的样品进行了相表征，用红外吸收光谱（FT-IR）对不同热处理温度下的样品进行了结构分析，用透射电子显微镜（TEM）对热处理后的样品进行了形貌表征，XRD谱表明，在300℃热处理下的ZnO粉体已经成相并具有良好的结晶状态，根据Scherrer公式计算的ZnO晶粒尺寸与由TEM估算ZnO颗粒的晶粒尺寸基本保持一致，ZnO颗粒的晶粒尺寸随着热处理温度的提高而增大。