BG-101J分步光刻机检测记录(一)实用分辨率检测

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BG-101J分步光刻机检测记录(一)实用分辨率检测一、工艺过程及条件前烘温度:90℃光刻胶:KTI820曝光当量:1200显影温度:21℃测试人:李威前烘时间:20分钟胶厚:1.2μm显影时间:45s日期:1994.12.9.二、分辨率检测版名称G... BG-101J stepper lithography test records (A) practical resolution test First, the process and conditions Pre-bake temperature: 90 ℃ photoresist: KTI820 Exposure Equivalent: 1200 Development Temperature: 21 ℃ Test: Li Wei before baking time : 20 minutes Glue Thickness: 1.2μm Development Time: 45s Date: 1994.12.9. Second, the resolution test version name G ...
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