【摘 要】
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在陀螺仪中,微电容检测系统的精度直接决定了转子位移测量精度,进而影响了陀螺的精度.为适应高精度转子陀螺的特殊结构,该文研制了一种基于环形二极管解调的微电容检测系统.
【机 构】
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清华大学精密仪器系,北京100084
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在陀螺仪中,微电容检测系统的精度直接决定了转子位移测量精度,进而影响了陀螺的精度.为适应高精度转子陀螺的特殊结构,该文研制了一种基于环形二极管解调的微电容检测系统.研究了该系统输出增益变化规律,提出了基于漏电最小化原则的增益解算算法;研究了输出噪声的特性,并设计了相应的噪声解算算法;在此基础上,提出一种基于环形二极管解调的新型微电容检测方法,抑制噪声以提高电容检测分辨率.实验结果表明:优化电路后的电容分辨率达到20.0 aF,单位带宽下的分辨率达到0.258aF· Hz-1/2,满足电容测量的精度需求.
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