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为探寻提高臭氧发生器功率因数、降低能量消耗的途径,优化臭氧发生器结构参数及其与高压高频电源的匹配,设计了介质阻挡放电型臭氧发生器试验系统,研究了介质材料、介质厚度以及放电气隙等因素对臭氧发生器功率因数的影响,并进行了理论分析。结果表明：选择相对介电常数较大、较薄的材料作为放电介质更易获得较大的功率因素;较小的放电气隙有利于提高放电的均匀性和功率因素;增大激励电压或频率同样会使功率因素增加。