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本文总结了目前制备二氧化硅基波导薄膜的各种制备工艺，包括广泛采用的等离子增强化学气相沉积法（PECVD）和火焰水解法（FHD）以及低压化学气相沉积法、溅射法、离子交换法、离子注入法和溶胶-凝胶法等制备方法，并对各种工艺的原理、特点和应用现状进行了详细的介绍。
二氧化硅基波导薄膜的制备方法
【摘 要】
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本文总结了目前制备二氧化硅基波导薄膜的各种制备工艺，包括广泛采用的等离子增强化学气相沉积法（PECVD）和火焰水解法（FHD）以及低压化学气相沉积法、溅射法、离子交换法、离子注入
【机 构】
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唐山工业职业技术学院
【出 处】
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山东陶瓷
【发表日期】
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2006年3期
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