脱除痕量硫化氢气体的化学反应过滤器试验

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由于环境空气中常常含有痕量流化氢气体,在象半导体加工制造那样对污染敏感的设施中,可能需要使用化学反应过滤器来净化气源.叙述了在脱除痕量硫化氢气体所用这种过滤器的性能.采取分析银和镀银表面在要过滤的硫化氢污染气体中的脱色情况来评价.另外,通过荧光X射线分析来测量达银样品表面硫的峰值.结果发现,H2S浓度<3×10(-9)时,腐蚀速率(表面反应)和所得的脱色现象是微不足道的.
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