【摘 要】
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引言激光化学沉积是激光化学用于固体电子学研究的一种方法,将一定波长和功率的激光束聚焦在基片上,基片置于金属有机化合物或其他一些有机和无机化合物的气体中,使该气体分
【机 构】
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上海激光技术研究所,上海激光技术研究所,上海激光技术研究所
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引言激光化学沉积是激光化学用于固体电子学研究的一种方法,将一定波长和功率的激光束聚焦在基片上,基片置于金属有机化合物或其他一些有机和无机化合物的气体中,使该气体分解出原子沉积在基片上,此法可用于半导体的局部掺杂、欧姆接触和光刻
Introduction Laser chemical deposition is a method of laser chemistry used in solid-state electronics that focuses a laser beam of a given wavelength and power on a substrate that is placed in a gas of a metal-organic compound or some other organic and inorganic compound such that The gas decomposition of atoms deposited on the substrate, this method can be used for semiconductor local doping, ohmic contact and lithography
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