高压脉冲电晕放电氮等离子体的分子束质谱诊断研究

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克服强电磁场干扰,以具有三级差分抽气系统的分子束质谱为手段,对线板式高压脉冲电晕放电N2等离子体阴极板区的正离子成分进行了首次诊断研究。发现在各种实验条件下,N^+离子流强度均显著大于N2^+;N^+及N2^+离子流强度随放电电压、放电频率升高而增大,随放电室气压变化则存在一极值。对N2等离子体中所包含的主要基元物理-化学过程进行了讨论。
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