High Selective Etching of Aluminum Alloys In High Plasma Density Reactor

来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xieyinglan2007

【摘要】

：

【正】 An inductively coupled plasma (ICP) discharge and its etching behaviors for aluminum alloys were investigated in this report. A radio frequency power sup

【作者】

：

David Liu Ching-Hwa Chen

【机构】

：

LamResearchCorporation4650CushingParkwayFremont,CA94538,CA94538

【出处】

：

真空科学与技术

【发表日期】

：

1992年Z1期

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

【正】 An inductively coupled plasma (ICP) discharge and its etching behaviors for aluminum alloys were investigated in this report. A radio frequency power supply was used for plasma generation. The unique hardware configuration enabled one to control ion e

其他文献

狼毒对试验羊血清抗氧化能力的影响

选择临床健康试验绵羊8只随机分为2组,每天分别按每千克体重2.5g和5.0g的剂量投服狼毒粉,并在试验前和试验后每隔4d测定血清中T-AOC活性和MDA含量。结果表明：低剂量组试验羊血

期刊

狼毒绵羊抗氧化能力Chamaejasme L Sheep Antioxidant capacity

云南咖啡间套作栽培模式研究概况

介绍了咖啡间套作的意义以及小粒咖啡在云南的主要间套作栽培模式,以期为今后咖啡科研及生产提供参考依据。

期刊

云南咖啡间套作栽培概况Yunnan coffee intercropping cultivation general situation

微型语料库HUEMWEC的建设与应用

论述初步建成的怀化学院英语专业生书面英语语料库（以下简称HUEMWEC）建设的必要性和可行性，报告了它的建设，并介绍了它在培养自主型和探究型学习模式、增强教学的针对性、为教学

期刊

英语专业生英语写作微型语料库English major English writing small- sized corpora

预防党政秘书腐败之立法思考

党政秘书腐败的危害不亚于领导干部腐败,严重损害党和政府的形象,腐蚀、危害党政秘书队伍,造成极坏的政治影响和严重的经济后果。从预防党政秘书腐败的必要性出发,探讨预防党

期刊

党政秘书预防腐败立法

搞活信用社业务经营的思考

【正】我区农村信用社（简称信用社,下同）从1984年全面开展管理体制改革至今,已有九年多了。通过改革,信用社的精神文明和物质文明建设取得了令人注目的丰硕成果。仅以信贷业务

期刊

信用社业务经营“三为主”发放贷款准备金比率农业银行农村信用社规模控制专业银行贷款余额

全株玉米青贮饲料饲喂肉牛增重效果试验

试验选择16～18月龄,体重相近的西门塔尔杂种黄牛20头,随机分成两组,每组10头,饲喂全株玉米青贮料和去除果穗的玉米秸秆青贮料进行对比分析。全株玉米青贮组头均日增重为1.41kg

期刊

全株玉米青贮肉牛育肥日增重饲喂试验Whole plant corn silage Beef cattle fattening Daily gain

民和县鸡“两病”集中免疫效果分析

本文采用血凝抑制试验对民和县饲养的鸡进行了鸡新城疫和禽流感免疫抗体检测,结果表明：鸡新城疫免疫抗体群体合格率为89.0%,禽流感免疫抗体群体合格率为91.3%;＂两病＂免疫抗体合

期刊

鸡“两病”免疫抗体检测

微博在思想政治工作中的应用与功能

近些年微博在国民生活中的普及度越来越高，其影响力不容忽视。在当代，应充分发挥微博的力量去提高思想政治教育的效果。从微博的思政教育基础理论、微博思政教育的功能、微博的

期刊

微博思想政治应用功能

地虫绝对辣椒地下害虫的防效评价

地虫绝是一种新研发的环境友好复合型防治地下害虫中试药剂。为科学、合理使用并探讨其对作物生长发育的安全性,采用田间实验比较分析地虫绝对辣椒地下害虫的防治效果及对辣

期刊

地虫绝辣椒地下害虫防效评价生长参数DICHONGJUE capsicum soil insect control effect evaluati

乌兰县羔羊铜缺乏的病因调查分析

乌兰县铜普镇某牧户家产羔80余只,死亡40余只,经实验室细菌学检验、分子生物学检测和微量元素及矿物质测定,细菌学培养未见致病菌;分子生物学检测布氏杆菌病和衣原体病均为阴

期刊

羔羊铜铁钼铜缺乏

High Selective Etching of Aluminum Alloys In High Plasma Density Reactor

其他学术论文