【摘 要】
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为研究V元素对Ti-Al-V-N复合膜摩擦磨损性能的影响、制备性能更为优异的薄膜,采用真空磁控溅射方法制备了不同V含量的Ti-Al-V-N复合膜,研究了在室温25℃及高温650℃时,不同V
【基金项目】
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安徽省2018年自然科学重点项目(KJ2018A0956),滁州城市职业学院院级自然重点项目(2019ZK03),滁州城市职业学院教学改革项目(2018jyxm04)
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为研究V元素对Ti-Al-V-N复合膜摩擦磨损性能的影响、制备性能更为优异的薄膜,采用真空磁控溅射方法制备了不同V含量的Ti-Al-V-N复合膜,研究了在室温25℃及高温650℃时,不同V含量的Ti-Al-V-N复合膜的摩擦磨损性能。结果表明:在室温25℃时,当V的物质的量分数达到17.0%时,平均摩擦系数最小,为0.39,具有低摩擦系数的原因一是添加了V元素后复合膜硬度发生了显著的改变,二是摩擦磨损过程中TiO2的生成量减少了;在高温650℃时,发现当V的物质的量分数达到26.7%时,平均摩擦系数最小,
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