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系统回顾了光波导用氟化物玻璃薄膜的研究历史,总结了其制备方法与研究现状,重点介绍了氟化物玻璃薄膜在无源光波导和有源光波导上的应用,并对其前景进行了展望.
光波导用氟化物玻璃薄膜
【摘 要】
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系统回顾了光波导用氟化物玻璃薄膜的研究历史,总结了其制备方法与研究现状,重点介绍了氟化物玻璃薄膜在无源光波导和有源光波导上的应用,并对其前景进行了展望.
【机 构】
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中国科学院上海光学精密机械研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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半导体光电
【发表日期】
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2002年6期
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