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本文介绍了最大耗尽厚度达5mm,最大有效面积为80—153mm~2的厚灵敏层金硅面垒探测器研制工艺,主要用途和测试结果。
厚灵敏层金硅面垒探测器
【摘 要】
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本文介绍了最大耗尽厚度达5mm,最大有效面积为80—153mm~2的厚灵敏层金硅面垒探测器研制工艺,主要用途和测试结果。
【机 构】
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中国科学院近代物理研究所,中国科学院近代物理研究所
【出 处】
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核电子学与探测技术
【发表日期】
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1990年3期
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