【摘 要】
：
为解决化学机械平坦化(CMP)后Cu表面存在表面粗糙度大、侵蚀等问题,以表面活性剂为基础研制新型碱性清洗剂。采用对比实验研究了脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)、聚乙二醇(PEG)、高碳
【机 构】
：
河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室,
论文部分内容阅读
为解决化学机械平坦化(CMP)后Cu表面存在表面粗糙度大、侵蚀等问题,以表面活性剂为基础研制新型碱性清洗剂。采用对比实验研究了脂肪醇聚氧乙烯醚(JFC)、聚乙二醇(PEG)、高碳脂肪醇聚氧乙烯醚(AEO)和FA/O四种非离子表面活性剂的表面张力,得出FA/O非离子表面活性效果最好且使清洗液表面张力最低。再通过原子力显微镜(AFM)测试以及电化学测试,进一步研究不同体积分数的非离子表面活性剂对Cu表面状态的影响,得出碱性清洗剂选用体积分数为0.15%的FA/O非离子表面活性剂时最佳。实验结果表明:当清洗液中FA/O表面活性剂体积分数为0.15%、FA/OⅡ螯合剂体积分数为0.015%时,表面粗糙度为1.3 nm,界面腐蚀现象基本不存在。说明表面活性剂增大了清洗液在CMP后清洗过程的渗透性与铺展作用,使Cu表面状态得到优化。
其他文献
从行为表现展开的新闻失范讨论,其共同特点都是报道的不够真实。因此,本文认为"新闻真实"能够作为判断"范"与"失范"的标准,"范"就是同时满足符合论所强调的文本与客观事实相
可能正如好莱坞著名私人教练JessicaAlba所说，即便健身老手也会在冬天偷懒。气温下降，人们不自觉变懒了。是时候知道一点冬日健身法则了，越冻，越要运动，脂肪囤积也许不是必然结果
以一榀100 m跨度预应力张弦式管道为原型,设计了1∶15比例缩尺模型,在中国首次开展了张弦式管道在预应力张拉阶段、正常使用阶段及承载力极限阶段的受力全过程试验研究.基于A
在国际市场上开展营销活动的过程中，企业经常遇到的进口限制主要有进口税与非关税壁垒，而出口营销中会碰到出口税、出口配额、出口许可证、出口禁运等限制。企业应该弄清这些进
目的探讨超声内镜（EUS）指导内镜黏膜下剥离（ESD）切除胃间质瘤的治疗价值。方法分析20例来源于胃固有肌层的黏膜下肿瘤（SMT）（肿瘤直径≤12mm）的EUS特征,对其进行内镜黏膜下剥离治疗,并
目前中医发展缓慢与中医的博大精深是不相应的，中医需要我们全面掌握和正确运用它，才能医治疾病，维护人类健康。中医在现代科技条件下，尤其在现代医学面前，更具强大的生命力，进入了
随着高等教育的普及与发展,我国近年大学毕业生数量持续高涨。日益加剧的就业竞争为民办院校的毕业生带来了更大的压力,在学历处于劣势的情况下如何在竞争激烈的就业形势中寻
对于建在软弱地基土上的高层结构,由于土-结构动力相互作用,基础的平移和转动导致结构整体发生刚体位移,特别是刚体运动中的转动不仅可能增加结构的绝对位移,并且可能加大结
验证参考作物蒸散量模拟方法的适用性,对于加强水资源管理和指导生态建设具有重要理论意义和应用价值。根据黄河上游地区50 a来10个站点的逐日气象资料,以FAO推荐的Penman-Mo
后勤部门作为检察机关内设组织机构,它是检察机关的"基石",是检察职能发挥的有利保障。检察后勤管理工作搞得好与否,直接影响到全院干警的工作积极性、工作效率以及检察工作