【摘 要】
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采用二维有限元数值分析法，开发出用于反向偏置ｐｎ结分析的模拟软件。它可以模拟与反向耐压有关的终端浅结场环、场板、ＳｉＯ２介质及界面态。本文介绍了模拟所采用的物理模型和模拟方法
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采用二维有限元数值分析法，开发出用于反向偏置ｐｎ结分析的模拟软件。它可以模拟与反向耐压有关的终端浅结场环、场板、ＳｉＯ２介质及界面态。本文介绍了模拟所采用的物理模型和模拟方法，并以三环浅结带场板终端为例，给出部分模拟实例、结论及实验结果
Using two-dimensional finite element numerical analysis, developed simulation software for reverse bias pn junction analysis. It can simulate the reverse withstand voltage terminal shallow junction field ring, field plate, SiO2 medium and interface state. In this paper, we introduce the physical model and simulation method used in the simulation, and give examples of some simulation results by taking the terminal of the Trifle shallow junction field plate as an example. The conclusion and the experimental results
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