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【摘 要】
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采用微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统制备了铈（Ce）掺杂金刚石薄膜。对Ce掺杂金刚石薄膜进行了飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS）和X射线光电子能谱（XPS）的表征。研究结果表明：在金
【机 构】
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内蒙古科技大学机械工程学院
【出 处】
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河南科技大学学报：自然科学版
【发表日期】
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2018年6期
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