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在德克萨斯州立大学与Sematech协作的、德克萨斯发起的先进材料研究中心（AMRC），人们正在试图将硅纳米线应用于微电子行业，作为SEM测量标准。
未来CD-SEM校正标准的发展
【摘 要】
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在德克萨斯州立大学与Sematech协作的、德克萨斯发起的先进材料研究中心（AMRC），人们正在试图将硅纳米线应用于微电子行业，作为SEM测量标准。
【机 构】
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SemiconductorInternational高级编辑
【出 处】
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集成电路应用
【发表日期】
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2006年7期
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