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近日，应用材料公司宣布推出AppliedVantageVulcan快速热处理（RTP）系统，推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术，将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新的水平，为芯片制造商减少了可变性并大幅提高了其高价值高性能器件生产的成品率。
应用材料突破性快速热处理技术推动20纳米工艺发展
【摘 要】
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近日，应用材料公司宣布推出AppliedVantageVulcan快速热处理（RTP）系统，推动最先进纳米级晶体管制造的发展。该系统超越了当前的RTP技术，将退火工艺的精确性和控制性提高到了一个新
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2011年8期
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