【摘 要】
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为研究融石英光学材料表面离子束抛光的去除特性,在分析法拉第扫描的离子束电流密度分布参数与去除函数间关系的基础上,建立基于法拉第扫描的离子束抛光去除函数模型。采用等
【机 构】
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中国兵器科学研究院宁波分院; 国防科技工业光学超精密加工技术创新中心; 长春理工大学电子信息工程学院;
【基金项目】
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国家科技重大专项（2017ZX04022001-205-001）;宁波市自然科学基金项目（201601HJ-B01286）
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为研究融石英光学材料表面离子束抛光的去除特性,在分析法拉第扫描的离子束电流密度分布参数与去除函数间关系的基础上,建立基于法拉第扫描的离子束抛光去除函数模型。采用等间距采集数据进行法拉第扫描试验,对采样数据进行高斯拟合,得到离子束电流密度分布。对法拉第扫描方法和线扫描方法对比分析研究。结果表明:基于法拉第扫描对融石英材料进行离子束抛光方法,可缩短离线计算去除函数时间,提高抛光效率;去除函数峰值的去除率Rmax和法拉第扫描的电流密度峰值Jmax间的关系Rmax=1.596 2Jmax。
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