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【摘 要】
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本工作采用甚高频等离子体化学气相沉积（VHF-PECVD）技术制备了P型微晶硅氧窗口层薄膜,讨论了P型微晶硅氧的光电特性随硼烷掺杂率的变化。采用紫外-可见透射光谱,拉曼光谱,傅立
【机 构】
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中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司,河北大学物理科学与技术学院
【出 处】
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人工晶体学报
【发表日期】
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2017年11期
【基金项目】
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华能集团科技项目（TW-13-CERI01）
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