Al2O3缓冲层对以ZnO:A1为阳极的有机电致发光器件性能的影响

• 作 者: 姚宁 邢宏伟 穆慧慧 崔娜娜 葛亚爽 王英俭 张兵临
• 机 构: 中国科学院安徽光学精密机械研究所,郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室
• 出 处: 真空科学与技术学报
• 发表日期: 2004年期
• 关键词: 掺铝氧化锌 缓冲层 Al2O3 有机电致发光器件

采用直流磁控溅射法制备ZnO:Al(AZO)透明导电薄膜,薄膜电阻率为5.3×10-4Ω·cm,可见光区平均透过率大于85%.采用施加缓冲层的方法,在AZO和NPB之间加入一层Al2O3绝缘薄膜,提高了AZO阳极有机电致发光器件的性能,分析了Al2O3缓冲层的作用机理.结果表明施加1.5 nm缓冲层后器件的电流效率是单纯AZO阳极器件的3.4倍,同时也高于传统ITO器件.