【摘 要】
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激光跟踪干涉仪具有自跟踪功能,测量空间对角线时相对激光干涉仪更方便,因此对激光跟踪干涉仪检测坐标测量机的原理和方法开展研究.对激光跟踪干涉仪采用不同分布开展了基站
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电子工程学院,中国计量科学研究院
【基金项目】
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国家重点研发计划(2017YFF0204804)
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激光跟踪干涉仪具有自跟踪功能,测量空间对角线时相对激光干涉仪更方便,因此对激光跟踪干涉仪检测坐标测量机的原理和方法开展研究.对激光跟踪干涉仪采用不同分布开展了基站坐标自标定实验,得到基本一致的基站站位坐标;在此基础上开展了激光跟踪干涉仪和激光干涉仪的应用对比实验.实验结果表明二者测量500 mm长度的最大差值为0.37μm,线性补偿后小于0.1μm.因此验证了激光跟踪干涉仪检测方法的正确性和可行性,为坐标测量机检测提供了一种更便捷的方法,尤其适用于受实物标准器尺寸限制的大型坐标测量机检测.
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