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采用双层辉光离子渗金属技术对Ti6A14V合金（TC4）表面进行等离子渗镍研究。通过分析放电气压对渗层镍含量及厚度的影响得出，在950℃及20-50Pa进行合金化时，当气压为30Pa时可得到最佳质量的渗层。对此典型工艺条件下渗层的组织形貌、成分分布特征进行观察与分析，测试了渗层的显微硬度，并对渗层的摩擦学性能进行了研究。结果表明，渗层表面Ni含量最高可达95％，向内逐渐降低，基本呈梯度分布，显微硬度明显提高，耐磨性较基材TC4大大增强。