基于带电光调制器的干涉仪原理的位移测量仪

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现在多普勒双频位移测量仪在工厂和实验室条件下测量位移,由于它的可靠性(因为双频激光干涉仪的输出频谱不含有零频率区)和高准确度,得到越来越广泛地推广。在文献(1)中描述了基于辐射频率塞曼分裂原理的双频激光位移测量仪。双频激光器的应用为制造测量位移小到激光辐射波长小数部分的干涉仪提供了可能性,但是到目前为止,还没有双频激光器的工业样品。已知用电光晶 Doppler dual-frequency displacement meters now measure displacement under factory and laboratory conditions and are gaining popularity due to their reliability (because the output spectrum of dual-frequency laser interferometers does not contain zero-frequency regions) and high accuracy To promote. A dual-frequency laser displacement meter based on the Zeeman splitting principle of radiation frequency is described in literature (1). The use of dual-frequency lasers offers the possibility of making interferometers that measure small fractions of the wavelength of laser radiation, but so far no industrial samples have been available for dual-frequency lasers. Electro-optical crystals are known
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