表面高分辨弹性反冲探测分析

• 作 者: 路秀琴 符长波
• 机 构: 中国原子能科学研究院物理所
• 出 处: 原子核物理评论
• 发表日期: 2000年4期
• 关键词: 弹性反冲探测 深度分辨 表面高分辨 elastic recoil detectiondepth resolutionQ3D magnetic spectrome
• 基金项目: 国家自然科学基金资助项目!(19775 0 6 7),,核工业科学基金资助项目!(H7196 A0 113)&&

在中国原子能科学研究院ＨＩ－１３串旬加速器上建立了用Ｑ３Ｄ磁谱仪动量分析和△Ｅ－Ｅ粒子分辨对材料表面进行高分辨的弹性反冲探测分析技术。用１００ＭｅＶ＾１２７Ｉ对Ｃ／ＬｉＦ多层样品的深度分布分析表明，表面分辨达到１．２ｎｍ。所建立的△Ｅ（气体）－Ｅ（半导体）望远镜探测器可同时分析从轻至中重的所有元素。实测了新光电材料ＧａＮ，Ｌａ２ｓＲｃＵＯ４超导膜和新超硬材料Ｃ３Ｎ４（Ｓｉ）等样品。