【摘 要】
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介绍了等离子体离子辅助沉积技术，用该技术制备了高性能的中红外增透膜，给出了该增透膜的光学性能和耐久性试验结果。
The plasma ion-assisted deposition technique was int
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介绍了等离子体离子辅助沉积技术，用该技术制备了高性能的中红外增透膜，给出了该增透膜的光学性能和耐久性试验结果。
The plasma ion-assisted deposition technique was introduced. High-performance mid-infrared anti-reflective coatings were prepared by this technique. The optical properties and durability of the AR coatings were also given.
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