动态MOCVD连续制备YBCO／Ag超导带的微观结构

来源 :低温与超导 | 被引量 : 0次 | 上传用户：songshuguiyu00

【摘要】

：

该文对用动态ＭＯＣＶＤ工艺所制膜厚分别为１．０μｍ和３．５μｍＪｃ值分别为５．５×１０＾３Ａ／ｃｍ＾２和２．１×１０＾３Ａ／ｃｍ＾２（７８Ｋ，ｏＴ）的两个ＹＢＣＯ／Ａｇ超导带样品，以ＥＤＸ，ＸＲＤ和ＳＥＭ对其沉积层表面的成分与结构作了分析和研究，对后者还以ＳＥＭ和ＥＤＸ对其断面成分进行了分析。以ＸＲＤ和ＳＥＭ分

【作者】

：

谢义元袁凤池

【机构】

：

长沙矿冶研究院

【出处】

：

低温与超导

【发表日期】

：

1994年1期

【关键词】

：

MOCVD YBCO-Ag 超导体薄膜

【基金项目】

：

国家超导技术联合研究开发中心资助

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