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传统清洗技术主要使用酸、碱、双氧水、甲苯、三氯乙烯、氟利昂等化学试剂，成本高，而且有毒，有腐蚀性，危害安全与健康并污染环境，特别是氟利昂等ODS物质研究破坏地球臭氧层，危及人类生态环境，是国际上限期禁止生产和使用的物质。多年来，国内外科学家就致力于研究无毒、无腐蚀性的清洗工艺，但尚未取得突破。
IC制造中清洗技术发展的分析
【摘 要】
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传统清洗技术主要使用酸、碱、双氧水、甲苯、三氯乙烯、氟利昂等化学试剂，成本高，而且有毒，有腐蚀性，危害安全与健康并污染环境，特别是氟利昂等ODS物质研究破坏地球臭氧层，危及人
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2006年6期
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