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来源 :陕西师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
利用碱性体系抛光液研究了十二烷基苯磺酸钠(SDBS)缓蚀剂对镁合金化学机械抛光过程和抛光效果的影响。采用能谱仪XPS分析缓蚀剂在镁合金表面形成的膜层成分,并通过腐蚀试验、
【作 者】
:
杨大林
卞达
赵治安
倪自丰
赵永武
【机 构】
:
江南大学机械工程学院
【出 处】
:
陕西师范大学学报(自然科学版)
【发表日期】
:
2015年02期
【关键词】
:
化学机械抛光
缓蚀剂
极化曲线
去除率
粗糙度
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