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【摘 要】
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研究了红外脉冲激光照射下碳纳米管（CNTs）微悬臂梁的光热特性.首先,基于热传导模型建立了微悬臂梁动态温度状态方程和振动方程;然后采用真空抽滤和MEMS加工方法制备了CNTs微悬
【机 构】
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内江师范学院物理与电子信息工程学院
【出 处】
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内江师范学院学报
【发表日期】
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2016年10期
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